- SACVD
- избирательное химическое осаждение из паровой фазы
избирательное химическое осаждение из паровой фазы
Процесс химического осаждения из паровой фазы, при котором тонкопленочный материал осаждается только в выбранных местах на поверхности подложки; избирательность осаждения управляется химическим составом поверхности, который можно локально изменять.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
- полупроводниковые приборы
EN
- SACVD
- selective area chemical vapor deposition
Англо-русский словарь нормативно-технической терминологии. academic.ru. 2015.
